1958年10月28日上海技术物理研究所由中国科学院上海分院与复旦联合创办成立，在复旦大学内。

1961年1月开始独立建制，隶属于中国科学院上海分院。

1962年9月1日改名华东技术物理研究所，隶属于中国科学院华东分院。

1964年2月3日中科院党组决定我所是中国科学院红外技术研究中心之一。

1968年3月1日划到国防科委第十五研究院，称为十五研究院1510所，番号为中国人民解放军南字834部队。

1970年6月恢复中国科学院上海技术物理研究所名称。

1972年4月18日迁址上海市中山北一路420号，占地110亩，为所的长远发展提供了有效空间。