马斌 研究员

一、基本信息

姓    名：马斌                  

性    别：男                         

籍    贯：重庆                

出生年月：1969年6月                   

毕业院校：中国科学院研究生院                                                    

学历学位：研究生/博士                   

技术职务：研究员                 

导师类别：硕导                 

工作部门：中国科学院上海技术物理研究所 硅器件室

联系电话：021-25051249                

电子邮箱：mabin@mail.sitp.ac.cn                           

二、工作简历

1991年7月至1993年9月，成都铝材厂。

1996年9月至今，中国科学院上海技术物理研究所。现任中国科学院上海技术物理研究所硅器件室副主任。

三、科研工作简介

主要从事硅基红外光电MEMS器件、MEMS结构设计与有限元仿真、体材料及表面MEMS工艺、大功率MEMS器件封装及散热技术等研究工作。研究重点包括非致冷红外探测器、微型电阻阵列器件等。长期从事与电阻阵列器件及投影装置有关的技术和产品研发以及应用研究。先后主持完成64′64、128′128、256′256、512′512微型电阻阵列动态红外景象产生器件项目。

四、主要获奖成果

**科技进步三等奖1项

省部级科技进步二等奖2项

中科院科技进步二等奖1项

上海市科技进步三等奖1项

航空科学技术奖励三等奖1项

五、代表性论文专利

1. Ma Bin, Liang Pingzhi, Si Junjie, et al. An Improved CMOS-compatible Bulk-silicon-micromachined Microemitter for Dynamic Infrared Scene Projector. Proceedings of the 8th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, IEEE, Shanghai, China, 2006: 623-625

2. 马斌，梁平治，陈世军等，基于热电堆结构的微型热传导真空传感器，真空科学与技术学报，2009，Vol.29（02）：218-223

3. 马斌，梁平治，陈世军等，硅基热电堆真空传感器的耦合场分析，纳米技术与精密工程，2008，（05）：336-342

4. 马斌，梁平治，陈世军等，硅基热电堆真空传感器的制造技术，微细加工技术，2008，（02）：23-27+32

5. 马斌，程正喜，翟厚明等，国产电阻阵列技术的发展趋势，红外与激光工程，2011，Vol.40（12）：2314-2322+2327

6. 一种用于硅各向异性腐蚀的装置 （ZL200410017033.3）

7. 用于硅腐蚀的四甲基氢氧化铵腐蚀液及制备方法（ZL200410017032.9）

六、培养学生情况

截止2021年7月，已毕业博士生1人、硕士生6人（含作为二导）。就业率：100%。主要就业去向：科研院所、高校、高科技企业等。